	  1	 16	507	 12	  9	 37	 35	 39	504	 33	 27	 14	734	999
10	   1376	    630	    634	   1041	      0	    736	     12	      0	     93	      0	   6489	     52	      0	  11063
11	    978	    562	    630	    844	      0	    724	     12	      0	     93	      0	   3018	      8	      0	   6870
12	    168	      0	      0	    156	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	     44	      0	    367
13	      1	     67	      0	     30	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	     98
14	    229	      1	      4	     12	      0	     11	      0	      0	      0	      0	   3471	      0	      0	   3728
20	    207	     30	     86	     21	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	     15	      0	    359
21	    207	     30	     68	     21	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	     15	      0	    341
22	      0	      0	     18	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	     18
30	   1810	   4448	    871	    109	    190	    463	     71	     48	    160	      0	    438	    144	      0	   8751
31	    335	    546	     17	      2	      0	     68	      0	      0	      0	      0	    117	    112	      0	   1197
32	     74	   1411	     12	     22	      0	      0	      0	      9	      0	      0	     97	      1	      0	   1627
33	    158	    195	      2	      1	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	    357
34	    208	    165	      9	     12	      1	      0	      0	      0	      0	      0	      3	      0	      0	    398
35	     93	      7	      1	      0	     60	    299	      0	     26	     11	      0	    216	     16	      0	    729
36	    829	   2123	    715	     52	    129	      6	      0	      9	    149	      0	      5	     10	      0	   4028
39	    112	      0	    116	     20	      0	     89	     71	      4	      0	      0	      0	      4	      0	    415
40	    912	   6464	      5	     47	      0	      0	      0	      0	      0	      0	    109	     16	      0	   7552
41	    912	   6464	      5	     47	      0	      0	      0	      0	      0	      0	    109	     16	      0	   7552
50	   1926	    878	    787	    538	      3	    225	   2911	    319	    122	      0	    515	    339	      0	   8564
51	    801	    289	    269	    390	      0	    225	   1236	    233	      0	      0	    122	      0	      0	   3564
52	   1125	    590	    518	    148	      3	      0	   1674	     86	    122	      0	    393	    339	      0	   5000
60	   6920	  10489	   1796	   3744	   1822	   3636	  14741	    810	   1055	      0	   3970	   3757	      0	  52740
61	   1092	   1702	    112	   1021	    946	   1070	   2866	    731	    975	      0	   2861	    696	      0	  14073
62	   5828	   8787	   1683	   2723	    876	   2566	  11875	     80	     80	      0	   1109	   3061	      0	  38667
70	   1538	   1289	    599	    808	    105	    448	   1173	    324	     77	      0	    276	    118	    228	   6984
71	   1479	   1282	    590	    806	    105	    440	   1173	    324	     77	      0	    276	    118	    228	   6897
72	     60	      7	      9	      2	      0	      8	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	     87
80	   4178	  17412	   3136	    705	    106	   2671	   3419	   2850	   2255	      0	     69	   5435	      0	  42238
81	    306	    319	      0	     19	      0	      3	   2652	      0	      0	      0	      4	     95	      0	   3398
82	   3873	  17093	   3136	    686	    106	   2668	    767	   2850	   2255	      0	     65	   5340	      0	  38840
90	   1946	   7483	   2089	   1698	      2	  16914	  13720	   1232	   7866	      0	   2150	    587	      0	  55687
91	   1946	   7483	   2089	   1698	      2	  16914	  13720	   1232	   7866	      0	   2150	    587	      0	  55687
 1	  13480	   7266	    846	   7993	      0	  12099	   9043	   2655	   5545	   5458	   1967	   1307	   6799	  74458
 2	  11855	  34870	   3233	      0	      0	  18140	  13419	      0	  11065	    852	      0	   6412	      0	  99846
 0	  46149	  91259	  14082	  16705	   2229	  55332	  58509	   8239	  28239	   6310	  15981	  18182	   7027	 368242
	 28	  1	 16	507	 12	  9	 37	 35	 49	 39	504	 33	 27	 14	734	999
10	    477	    770	    219	      0	    173	      0	     58	     25	   1298	      0	      0	      0	    561	      0	      0	   3582
11	    477	    748	     51	      0	      0	      0	     58	      0	    125	      0	      0	      0	    471	      0	      0	   1929
12	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	   1173	      0	      0	      0	      0	      0	      0	   1173
13	      0	      1	    154	      0	     48	      0	      0	     25	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	    229
14	      0	     21	     13	      0	    125	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	     91	      0	      0	    251
20	    171	    445	    601	      0	     50	      0	    211	    266	     17	      0	     41	      0	     55	    280	      0	   2138
21	    171	    435	    601	      0	     50	      0	    211	    266	     17	      0	     41	      0	     50	    274	      0	   2116
22	      0	     10	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      6	      6	      0	     22
30	    403	   2363	   2586	    219	    212	     71	    294	    310	    874	    104	      0	      0	    153	     33	      0	   7623
31	      0	    957	     31	      3	     37	      0	     57	      0	      0	     50	      0	      0	      0	     21	      0	   1156
32	      0	      0	     23	      1	      5	      0	      0	      0	     66	      0	      0	      0	      0	      0	      0	     95
33	      0	     77	     12	     39	     52	      0	      3	      0	     35	      0	      0	      0	      0	      0	      0	    217
34	      0	      2	     76	      0	     49	      0	     15	      0	      0	     25	      0	      0	      0	      0	      0	    167
35	     13	     93	     80	      9	      0	     15	     18	      0	     40	     17	      0	      0	    148	     12	      0	    444
36	     93	   1218	   2365	    103	     59	     56	      0	    303	    734	      0	      0	      0	      5	      1	      0	   4937
39	    297	     16	      0	     64	     10	      0	    201	      7	      0	     13	      0	      0	      0	      0	      0	    608
40	     12	   3678	      7	     63	      0	      0	      0	      5	      0	      0	      0	      0	     12	      1	      0	   3778
41	     12	   3678	      7	     63	      0	      0	      0	      5	      0	      0	      0	      0	     12	      1	      0	   3778
50	   3145	   3630	    390	   1515	     97	   3998	    109	   1878	    600	     10	    103	      0	    863	   1116	      0	  17454
51	   1654	   1193	      8	   1095	     32	   3996	     86	   1435	    256	      2	      0	      0	     12	      5	      0	   9775
52	   1491	   2437	    382	    420	     65	      2	     23	    443	    344	      8	    103	      0	    851	   1111	      0	   7679
60	   1699	   8709	   6509	   3378	   4124	    763	   6996	   5452	    210	    212	    445	      0	    162	   1230	      0	  39888
61	   1374	    667	   1498	    193	    483	    222	   1002	   1120	    110	     82	      0	      0	      1	    176	      0	   6928
62	    325	   8042	   5011	   3185	   3641	    541	   5994	   4332	    100	    131	    445	      0	    160	   1054	      0	  32961
70	   3643	   2215	   2810	    937	   1345	    490	   1498	   5036	    143	    175	     46	      0	     53	     73	    358	  18822
71	   3643	   2199	   2784	    936	   1344	    490	   1489	   5036	    143	    175	     46	      0	     53	     23	    358	  18720
72	      0	     16	     25	      2	      1	      0	      8	      0	      0	      0	      0	      0	      0	     51	      0	    102
80	   1330	   6959	   4849	    995	   1115	   1516	   4632	    132	   1470	     66	    152	      0	    122	   4097	      0	  27434
81	      6	    788	    722	     11	     14	    566	     36	     87	     69	      0	      0	      0	     59	     38	      0	   2396
82	   1325	   6171	   4127	    984	   1100	    950	   4596	     44	   1401	     66	    152	      0	     63	   4059	      0	  25039
90	   2783	   2473	  19529	   1792	   1664	      0	  29938	  31662	   3334	   1079	   7440	      0	    635	    297	      0	 102626
91	   2783	   2473	  19529	   1792	   1664	      0	  29938	  31662	   3334	   1079	   7440	      0	    635	    297	      0	 102626
 1	    647	  20062	  15932	    552	  11511	      5	  14784	  15557	    229	   2102	   5662	  11760	   1803	   1904	   9929	 112438
 2	      0	  27747	  50787	   3983	      0	      0	  21050	  28900	   2048	      0	  18727	   2351	      0	   7767	      0	 163359
 0	  14308	  79050	 104220	  13435	  20291	   6843	  79570	  89224	  10222	   3749	  32615	  14110	   4421	  16798	  10287	 499142
	  1	 16	507	 12	 37	 35	504	 33	 27	 14	734	999
10	    496	  10875	    370	    777	   5210	    244	      6	      0	   1075	    138	      0	  19192
11	    277	    367	    362	    210	   5182	     41	      6	      0	    883	    134	      0	   7462
12	    201	  10450	      2	    423	      1	    203	      0	      0	      0	      4	      0	  11285
13	      7	      2	      0	     31	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	     40
14	     11	     55	      6	    112	     27	      0	      0	      0	    192	      0	      0	    404
20	    180	   2182	     14	     26	   8599	      0	    191	      0	   2964	     12	      0	  14168
21	    180	   2182	     14	     26	   8591	      0	    191	      0	   2964	     12	      0	  14160
22	      0	      0	      0	      0	      8	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      8
30	    677	    495	    113	    113	    138	    672	      0	      0	    120	      0	      0	   2328
31	    178	     38	      0	     15	     15	      0	      0	      0	      0	      0	      0	    246
32	     29	      7	     96	      3	      0	    488	      0	      0	      0	      0	      0	    621
33	     17	      3	      1	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	     21
34	    118	     12	      1	      1	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	    131
35	      0	      8	      0	      0	    121	    153	      0	      0	    108	      0	      0	    389
36	    330	    428	      5	     92	      0	     32	      0	      0	     12	      0	      0	    897
39	      6	      0	     10	      4	      2	      0	      0	      0	      0	      0	      0	     21
40	     47	   3368	      0	      0	      0	      4	      0	      0	      3	      0	      0	   3422
41	     47	   3368	      0	      0	      0	      4	      0	      0	      3	      0	      0	   3422
50	    910	    450	    187	    114	    187	    294	     10	      0	    221	    513	      0	   2886
51	    100	     31	    162	     42	    101	      0	      1	      0	      0	      0	      0	    437
52	    810	    419	     25	     72	     85	    294	     10	      0	    221	    513	      0	   2450
60	   4974	   2677	    261	   2092	   1339	    621	    155	      0	    662	   1191	      3	  13975
61	    639	    212	     47	    321	    201	      0	      0	      0	     44	    117	      0	   1580
62	   4335	   2465	    214	   1771	   1139	    621	    155	      0	    619	   1074	      3	  12395
70	   1034	   1062	    309	    321	    361	   1110	     93	      0	    268	     36	    125	   4718
71	   1016	   1060	    308	    320	    340	   1110	     93	      0	    261	     35	    125	   4670
72	     17	      2	      1	      1	     21	      0	      0	      0	      7	      0	      0	     49
80	   2108	   1762	    394	    459	   1167	   2613	     28	      0	    179	   1732	      0	  10442
81	     21	    245	      0	      3	      0	      0	      0	      0	    145	      8	      0	    422
82	   2087	   1517	    394	    456	   1167	   2613	     28	      0	     34	   1724	      0	  10020
90	    296	   3553	   3020	   1405	   3122	   5305	   2182	      0	   3450	     49	      0	  22382
91	    296	   3553	   3020	   1405	   3122	   5305	   2182	      0	   3450	     49	      0	  22382
 1	  10247	   5694	    611	   6285	   5601	   4040	   1859	   4720	   1414	    627	   3878	  44975
 2	   8747	  10640	    656	      0	   4137	   6710	   5351	     85	      0	    683	      0	  37010
 0	  29716	  42756	   5936	  11593	  29861	  21613	   9874	   4805	  10356	   4981	   4006	 175498
	  1	 16	507	 12	 37	 35	 39	504	 33	 27	 14	734	999
10	   8616	   9459	   6076	   4273	  11169	   8858	      0	     54	      0	   6836	    156	     10	  55508
11	   2968	   2306	   3683	   2343	  11126	    285	      0	     54	      0	   3765	     84	     10	  26624
12	   4335	   6802	   2120	   1740	      0	   8554	      0	      0	      0	   1783	      0	      0	  25333
13	     21	     53	      0	     63	      0	      8	      0	      0	      0	      0	      0	      0	    144
14	   1293	    299	    273	    128	     42	     12	      0	      0	      0	   1288	     72	      0	   3406
20	    416	   1876	     79	     20	   1067	      0	      0	      0	      0	   5688	    122	      0	   9268
21	    416	   1876	     79	     20	   1067	      0	      0	      0	      0	   5688	    122	      0	   9268
22	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0
30	   6111	   3927	    945	    157	    854	    373	    223	      2	      0	   1012	     39	      0	  13644
31	   3406	   2764	    581	     69	    543	    314	    182	      2	      0	    521	      2	      0	   8384
32	    102	    583	    146	     18	    196	     27	      0	      0	      0	     51	      0	      0	   1124
33	    346	     14	     25	      4	      1	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	    389
34	    197	     24	     19	      5	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	    246
35	    910	      2	    114	      0	      0	      0	      0	      0	      0	    410	      0	      0	   1436
36	   1090	    537	     54	     12	     11	     23	     42	      0	      0	     29	     38	      0	   1836
39	     60	      3	      6	     49	    103	      9	      0	      0	      0	      0	      0	      0	    231
40	    127	   9193	    300	      4	      0	      0	      0	      0	      0	   1085	   1042	      0	  11752
41	    127	   9193	    300	      4	      0	      0	      0	      0	      0	   1085	   1042	      0	  11752
50	   2939	   1293	   2157	    204	    590	   6532	    254	    263	      0	    650	    137	      0	  15020
51	   1045	   1163	   1358	     86	    302	   6016	     28	      9	      0	    563	     70	      0	  10640
52	   1895	    131	    798	    118	    288	    517	    225	    255	      0	     87	     67	      0	   4380
60	   8850	   6341	   4464	   3999	   6317	   5270	    993	    414	      0	   2418	   3013	     12	  42090
61	   1668	    461	   1749	   1270	   1417	    266	      0	    389	      0	    286	    116	      0	   7622
62	   7182	   5880	   2715	   2729	   4900	   5004	    993	     25	      0	   2132	   2897	     12	  34467
70	   1203	   1733	   1748	   1012	    971	  15492	     74	     72	      0	    131	     97	    128	  22660
71	   1172	   1726	   1712	   1011	    971	  15492	     74	     68	      0	    131	     94	    128	  22579
72	     31	      7	     36	      0	      0	      0	      0	      4	      0	      0	      3	      0	     81
80	   5578	   6588	   1672	    260	   2664	  12649	     51	    141	      0	   6458	   3376	      0	  39436
81	     50	   2287	      1	      1	     40	     34	      0	      0	      0	   6339	     86	      0	   8839
82	   5528	   4301	   1670	    258	   2624	  12615	     51	    141	      0	    119	   3290	      0	  30597
90	    929	   8017	   2649	   1660	  24193	   6828	    581	   5137	      0	   9029	     70	      0	  59093
91	    929	   8017	   2649	   1660	  24193	   6828	    581	   5137	      0	   9029	     70	      0	  59093
 1	   9383	   6206	   1295	  10280	  11112	   7337	   1110	   3920	   6150	   2735	    714	  10651	  70893
 2	  11505	  12104	   5970	      0	  23477	  15169	      0	   8671	   1145	      0	   3453	      0	  81495
 0	  55659	  66738	  27354	  21869	  82413	  78508	   3285	  18673	   7296	  36043	  12219	  10801	 420858
	  1	 16	507	 12	 37	 35	 39	504	 33	 27	 14	734	999
10	  18761	  11924	   6944	  11761	  16942	   6896	     98	    114	      0	   1266	   2470	      0	  77177
11	   9945	   7775	   6098	   5957	   9686	   3899	     98	     84	      0	     37	   1348	      0	  44927
12	   8275	   3993	    676	   4713	   6914	   1266	      0	     30	      0	    370	   1116	      0	  27354
13	    363	     92	     18	    889	      9	    874	      0	      0	      0	      0	      4	      0	   2249
14	    177	     64	    152	    202	    333	    858	      0	      0	      0	    859	      2	      0	   2647
20	   1028	    175	    418	   1973	      6	      0	      0	     42	      3	     49	    250	      0	   3942
21	    997	    175	    413	     52	      5	      0	      0	     42	      3	     49	    249	      0	   1985
22	     31	      0	      5	   1921	      1	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	   1957
30	  14219	   9738	   1793	   3390	   4085	   2761	    496	     32	   5010	   1288	    680	      0	  43491
31	   3085	   3285	    432	    241	   1170	    463	      5	     23	      0	    329	    342	      0	   9374
32	   2804	   1080	    587	    376	     76	     95	      0	      0	   1177	      3	      2	      0	   6199
33	    851	    544	    328	     87	    137	      0	      0	      0	      0	     11	     65	      0	   2024
34	    419	    266	    154	     94	    282	      0	      0	      0	    382	      0	      3	      0	   1600
35	   1273	   2600	    102	   2239	    793	    200	    309	      1	   2714	    849	     27	      0	  11109
36	   5132	   1916	     39	    144	     94	   1998	      0	      8	      0	     97	    241	      0	   9670
39	    656	     46	    150	    210	   1533	      4	    181	      0	    737	      0	      0	      0	   3517
40	    235	   4469	     35	    175	    144	     55	      0	    135	   6361	   5071	   4325	      0	  21004
41	    235	   4469	     35	    175	    144	     55	      0	    135	   6361	   5071	   4325	      0	  21004
50	   9153	   3602	   4400	   1780	   1996	   2782	    215	    329	     81	    819	   1397	      0	  26555
51	   4397	    955	    957	     48	   1726	   1961	      0	     53	     78	    124	    337	      0	  10636
52	   4757	   2647	   3443	   1732	    270	    821	    215	    276	      3	    696	   1060	      0	  15919
60	  34208	  12827	  11309	  15293	  13795	  24557	    398	   1507	   8192	   2584	  22956	      0	 147628
61	   8627	   5367	   4977	   4387	   5079	  11481	     74	   1024	   7920	   2017	   1650	      0	  52602
62	  25581	   7460	   6332	  10906	   8715	  13077	    324	    484	    272	    567	  21307	      0	  95026
70	   8750	   3754	   4134	   3762	   4064	  19417	     88	   1970	    789	   4355	   1351	    207	  52641
71	   8479	   3731	   4129	   3744	   3994	  19341	     82	   1963	    789	   2232	   1230	    207	  49920
72	    271	     23	      5	     18	     70	     77	      6	      7	      0	   2122	    121	      0	   2721
80	  35178	  14742	   5658	    893	   7830	   6914	    224	   1150	    167	    601	  22641	      2	  96000
81	   7199	   7522	    383	     19	    316	   1839	      0	      0	    151	    426	    734	      0	  18589
82	  27979	   7219	   5276	    875	   7513	   5075	    224	   1150	     16	    175	  21907	      2	  77411
90	  16570	  16708	  14277	   4959	  35373	  58803	   5090	  25808	   3820	   9650	   1650	      0	 192708
91	  16570	  16708	  14277	   4959	  35373	  58803	   5090	  25808	   3820	   9650	   1650	      0	 192708
 1	  62296	  15143	   3684	  26557	  31654	  26590	   8274	  15011	  30526	   3578	   5906	  19006	 248226
 2	  79352	  28233	  12628	      0	  45763	  42992	      0	  32547	   7911	      0	  22291	      0	 271715
 0	 279750	 121315	  65279	  70543	 161651	 191767	  14885	  78644	  62860	  29261	  85917	  19216	1181088
	  1	 16	507	 12	 37	 35	 39	504	 33	 27	 14	734	999
10	  41792	   3916	  11455	  11931	  15561	   8561	    261	    750	      0	   2450	    877	      0	  97553
11	  13889	   2298	   8767	   5934	  11992	   4839	    261	    732	      0	   2272	    415	      0	  51399
12	  27827	   1588	   2612	   4537	   3345	   3723	      0	     18	      0	     75	    462	      0	  44187
13	     76	     29	     73	   1460	    224	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	   1863
14	      0	      0	      3	      0	      0	      0	      0	      0	      0	    102	      0	      0	    105
20	     14	     25	     18	      5	      0	      0	     55	      0	      0	    495	     54	      0	    665
21	      9	     25	     18	      5	      0	      0	     55	      0	      0	    495	     54	      0	    660
22	      5	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      5
30	   7218	   4605	    712	    264	    678	    123	    223	    178	      0	    894	     27	      0	  14921
31	   4360	   4338	    326	     36	    608	      0	    195	      0	      0	    451	      5	      0	  10318
32	     24	      1	     34	     49	      5	     29	      0	      0	      0	      3	      0	      0	    145
33	    980	     50	    157	     64	      3	     57	      0	      0	      0	     13	      4	      0	   1328
34	    152	      4	      3	     30	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	    188
35	     54	      3	      0	      6	      4	      0	      0	      0	      0	    405	      3	      0	    475
36	   1372	    210	     99	     60	      0	     36	      0	    178	      0	     22	     15	      0	   1993
39	    276	      0	     94	     19	     57	      0	     28	      0	      0	      0	      0	      0	    474
40	     16	      1	     41	     42	     68	      0	     50	      0	      0	      1	      1	      0	    220
41	     16	      1	     41	     42	     68	      0	     50	      0	      0	      1	      1	      0	    220
50	   2277	     81	   3010	    164	    378	    866	      0	     16	      0	   1473	     94	      0	   8360
51	   1391	     36	   1073	     77	    214	    387	      0	      0	      0	    154	     12	      0	   3345
52	    886	     45	   1936	     87	    164	    480	      0	     16	      0	   1319	     81	      0	   5014
60	  11370	   9132	   8521	   5849	  13046	   7473	    294	   1749	      0	   2304	   1572	      0	  61310
61	   1705	   2386	   1366	   2658	   7811	   1651	      0	   1202	      0	    610	    333	      0	  19722
62	   9665	   6745	   7154	   3191	   5235	   5822	    294	    547	      0	   1695	   1239	      0	  41587
70	   3913	    253	   1348	    637	   1442	     24	    525	    743	      0	    345	     78	    304	   9612
71	   3902	    245	   1332	    624	   1385	     24	    525	    741	      0	    344	     77	    304	   9504
72	     11	      8	     16	     13	     57	      0	      0	      2	      0	      0	      0	      0	    108
80	   4607	   2830	   5142	    221	   3375	    569	    121	     92	      0	    425	   2752	      0	  20134
81	    222	    387	    177	      1	     35	      0	      0	      0	      0	    406	     71	      0	   1299
82	   4385	   2442	   4965	    220	   3340	    569	    121	     92	      0	     19	   2681	      0	  18835
90	   2307	   4770	   5769	   2190	  12081	  11894	    566	  16888	      0	   1838	    176	      0	  58479
91	   2307	   4770	   5769	   2190	  12081	  11894	    566	  16888	      0	   1838	    176	      0	  58479
 1	  17684	  10303	   2724	   9287	  12219	   7708	    311	  17406	   7227	   2039	    624	   9563	  97096
 2	  17005	   8759	   8994	      0	   8474	  10117	      0	   9621	    709	      0	   2468	      0	  66147
 0	 108203	  44674	  47734	  30590	  67323	  47335	   2406	  47443	   7936	  12264	   8723	   9867	 434497
	  1	 16	507	 12	  9	 37	 35	 39	504	 33	 27	 14	734	999
10	  31869	   8722	   9065	  10163	     77	  13211	  28005	     31	    465	      0	   3763	    257	     20	 105649
11	  12910	   3243	   6968	   6384	     62	  12644	  17213	     31	    359	      0	   1688	    116	     15	  61635
12	  17175	   4504	   1885	   2680	      0	    370	   9946	      0	    106	      0	   1161	    141	      5	  37973
13	   1645	    835	    209	   1032	     15	     27	    840	      0	      0	      0	     90	      0	      0	   4693
14	    139	    140	      2	     67	      0	    169	      6	      0	      0	      0	    824	      0	      0	   1348
20	    250	    100	     11	      0	      0	     36	    650	      0	      0	      0	     19	      4	      0	   1069
21	    250	    100	     11	      0	      0	      2	    650	      0	      0	      0	     19	      0	      0	   1031
22	      0	      0	      0	      0	      0	     35	      0	      0	      0	      0	      0	      4	      0	     38
30	  16618	  10025	   2508	   2714	    493	   4935	   9833	      0	    114	      0	   2224	    137	      0	  49600
31	   7288	   6372	   1149	     27	    176	   3440	   7356	      0	      5	      0	   2081	    108	      0	  28001
32	   1197	    400	     65	      8	      0	    320	      7	      0	      0	      0	     26	      1	      0	   2024
33	   6491	   2884	   1042	     19	    200	    812	   2393	      0	     19	      0	      6	      6	      0	  13870
34	    426	    145	     11	     20	      0	     47	      0	      0	      8	      0	     19	      2	      0	    678
35	      9	      0	      9	      0	      0	    140	      0	      0	      0	      0	     78	      0	      0	    236
36	    818	    223	    160	   2635	    117	      5	     77	      0	     82	      0	     12	     17	      0	   4147
39	    389	      1	     71	      6	      0	    173	      0	      0	      0	      0	      0	      3	      0	    643
40	    139	     44	     23	     64	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      9	      0	    280
41	    139	     44	     23	     64	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      9	      0	    280
50	   2986	   8669	   4485	    522	    760	    912	   3758	     16	     32	      0	    456	    102	      0	  22700
51	   1156	   7577	   4168	     33	    628	    368	   3644	     16	     32	      0	     49	      0	      0	  17672
52	   1831	   1092	    317	    489	    131	    544	    114	      0	      0	      0	    408	    102	      0	   5028
60	  18115	   4436	   6383	   6226	    704	   6947	  14017	      0	   2668	      0	   1121	   1584	      0	  62200
61	   4214	   1445	    401	   2033	    134	    803	   7006	      0	    241	      0	    135	    299	      0	  16712
62	  13901	   2990	   5982	   4193	    571	   6144	   7011	      0	   2426	      0	    985	   1285	      0	  45489
70	   4732	    822	   1500	    416	    209	   2091	   9627	      0	    144	      0	    454	     53	    117	  20164
71	   4671	    788	   1498	    409	    203	   2081	   8938	      0	    144	      0	    438	     51	    117	  19338
72	     61	     34	      1	      7	      7	     10	    689	      0	      0	      0	     16	      3	      0	    826
80	   7314	   3215	   4239	    118	    208	   3945	  14331	     67	    200	      0	    355	   3399	      0	  37391
81	   2652	   2226	     23	      1	      0	    698	   3442	      0	      0	      0	    346	     42	      0	   9431
82	   4661	    989	   4216	    116	    208	   3247	  10889	     67	    200	      0	      9	   3358	      0	  27960
90	   8600	   5315	   3090	   1794	      0	  12510	  12891	    303	  11588	      0	   5005	    131	      0	  61226
91	   8600	   5315	   3090	   1794	      0	  12510	  12891	    303	  11588	      0	   5005	    131	      0	  61226
 1	  23903	   3456	   1684	  10999	     38	  11627	  15852	    390	   5481	   6942	   2211	   1168	   6881	  90632
 2	  16139	   5575	   4458	      0	      3	   8211	  18857	      0	   9018	    572	      0	   2374	      0	  65208
 0	 130665	  50378	  37446	  33016	   2492	  64426	 127821	    807	  29710	   7513	  15607	   9220	   7018	 516119
	 28	  1	 16	507	 12	  9	 37	 35	 49	 39	504	 33	 27	 14	734	999
10	   4641	  16246	   8767	   6637	   6113	    399	  18395	  16584	   1341	     24	   1314	    323	   4898	    464	     31	  86177
11	    909	  10826	   3180	   5167	   4658	    143	   4342	   4699	     52	      0	     57	     81	   2519	    159	     18	  36809
12	      0	   1828	     14	    476	    439	      0	     31	      0	      0	      0	     11	      0	     42	     43	     10	   2895
13	   3702	   3105	    983	    835	    855	      0	   1601	   2707	     70	      0	     57	    242	   1091	    146	      4	  15398
14	     30	    487	   4590	    158	    161	    256	  12421	   9178	   1219	     24	   1189	      0	   1245	    116	      0	  31075
20	     99	     73	    255	      3	    316	      0	     12	    574	    513	      6	     90	      3	    690	     79	      0	   2714
21	     99	     73	    255	      0	    316	      0	      7	    574	     12	      0	     90	      3	    110	     26	      0	   1565
22	      0	      1	      0	      3	      0	      0	      4	      0	    502	      6	      0	      0	    579	     53	      0	   1148
30	   3643	  14558	   7990	   3273	    994	    174	   7670	   8747	   1299	    190	    284	  10623	   2456	   1314	     17	  63230
31	   2003	   5310	   2232	   2405	    146	      0	    307	   1197	      8	     21	      5	      0	   1180	    337	      0	  15152
32	    133	   1679	    800	     80	    323	      0	    508	   1177	     77	      0	      0	      0	    210	    264	      0	   5251
33	   1112	   5335	    981	    177	     44	    171	   5859	   3923	      9	     25	    148	      0	    127	    480	      2	  18391
34	     17	    131	    309	     77	     10	      2	      1	    314	     42	      0	     54	    754	      3	    116	      0	   1830
35	      0	    210	    882	     47	      7	      0	    126	     58	   1039	      0	      3	      0	    631	     58	      4	   3066
36	    248	   1857	   2780	    399	    119	      0	      2	   2026	    123	     27	     36	   9177	    306	     58	     11	  17169
39	    130	     38	      6	     88	    345	      0	    867	     52	      0	    117	     38	    691	      0	      0	      0	   2371
40	   3354	    934	  15453	     45	     52	     30	     52	     30	      0	   1702	      0	    905	   4187	    247	      0	  26991
41	   3354	    934	  15453	     45	     52	     30	     52	     30	      0	   1702	      0	    905	   4187	    247	      0	  26991
50	   1121	   5723	   7740	  10033	    435	   2247	   1623	  17267	   8583	     26	    493	      0	   2030	   1686	     15	  59024
51	    899	   3178	   6759	   9072	     93	    303	   1313	  14427	   8393	      0	     38	      0	    356	     22	      0	  44853
52	    222	   2545	    981	    961	    342	   1944	    310	   2840	    189	     26	    455	      0	   1674	   1664	     15	  14170
60	    954	  13168	   9010	   5184	  20814	    275	  21139	  22844	    519	    316	   3742	    404	   3375	  14039	     26	 115809
61	    375	   1365	   5023	    666	  13197	    203	  12090	   9139	    290	    104	   2597	    254	    997	    892	      2	  47194
62	    579	  11803	   3988	   4518	   7617	     71	   9049	  13705	    229	    212	   1145	    150	   2378	  13147	     25	  68615
70	   3041	   9763	   4153	   1101	   1918	     81	   2723	   4370	    223	     83	    467	    514	   2390	    956	   1782	  33565
71	   3041	   9542	   4110	   1057	   1918	     81	   2722	   4066	    158	     83	    467	    510	   2383	    929	   1782	  32848
72	      1	    220	     43	     44	      0	      0	      1	    304	     65	      0	      0	      4	      7	     27	      0	    717
80	   3531	  15771	   5320	   6812	    591	    375	   5952	   5427	   4027	   1231	   1163	    164	    552	  13351	      9	  64277
81	    536	   1578	    845	      7	      4	    172	     22	   1137	      2	      0	     25	    164	    383	     72	      0	   4946
82	   2996	  14193	   4476	   6805	    587	    203	   5930	   4290	   4025	   1231	   1138	      0	    169	  13279	      9	  59331
90	   4237	   7438	  10819	  11301	   6206	     75	  30036	  62403	   9162	   3430	  36204	   2670	   7496	   2552	     33	 194062
91	   4237	   7438	  10819	  11301	   6206	     75	  30036	  62403	   9162	   3430	  36204	   2670	   7496	   2552	     33	 194062
 1	   1373	  39219	   8974	   3756	  23833	    229	  32534	  27722	    562	   5066	   9173	  21700	   9696	   4266	  19106	 207211
 2	      0	  43240	  20632	  18346	      0	     30	  25636	  56132	   3377	      0	  28306	   5323	      0	  11056	      0	 212078
 0	  25995	 166133	  99114	  66493	  61272	   3914	 145771	 222099	  29605	  12074	  81238	  42629	  37769	  50011	  21019	1065136
	 28	  1	 16	507	 12	 37	 35	 49	 39	504	 33	 27	 14	734	999
10	    723	  12851	   4977	   1241	  12233	  12992	   7269	   1017	     54	    511	      0	   1343	    959	      9	  56177
11	     33	  10610	   3499	   1132	   8513	  12379	   6590	   1017	     54	    319	      0	    735	    902	      9	  45790
12	      0	    659	      0	     88	     49	      6	    262	      0	      0	      0	      0	     33	      5	      0	   1102
13	    690	   1582	   1428	     21	   3635	    535	    417	      0	      0	    192	      0	    221	     52	      0	   8774
14	      0	      0	     50	      0	     36	     72	      0	      0	      0	      0	      0	    354	      0	      0	    512
20	      0	      8	    124	      0	     11	      5	    427	      0	      0	      0	      0	      0	     16	      0	    591
21	      0	      4	    124	      0	     11	      5	    427	      0	      0	      0	      0	      0	      6	      0	    577
22	      0	      4	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	     10	      0	     14
30	   1089	   5356	   1134	   2038	    270	   7465	   1483	   2468	    126	    152	      0	    570	    916	      0	  23067
31	     91	   1494	    120	   1918	    119	    900	      7	    767	     27	      0	      0	     83	     10	      0	   5535
32	      0	     29	     67	      7	     16	     25	      0	      0	      0	      0	      0	    163	      0	      0	    307
33	    946	   2831	    396	     84	     43	   5515	     97	   1653	     11	     28	      0	     26	    901	      0	  12531
34	      0	    133	      5	      1	     12	     50	      0	      0	      5	     85	      0	     12	      0	      0	    303
35	      0	    104	    183	      0	      8	      0	      0	     43	      0	      0	      0	    261	      0	      0	    599
36	     52	    746	    362	      3	     53	      0	   1368	      3	     75	      7	      0	     14	      5	      0	   2686
39	      0	     19	      0	     26	     19	    975	     11	      3	      8	     32	      0	     12	      0	      0	   1104
40	   1838	    281	      0	      1	     19	    157	     36	      0	      0	      7	      0	     16	      0	      0	   2355
41	   1838	    281	      0	      1	     19	    157	     36	      0	      0	      7	      0	     16	      0	      0	   2355
50	    759	   5285	   2693	   1989	    301	   1570	   1478	    563	    128	    785	      0	   2175	   1327	      0	  19054
51	    173	   1923	   1848	   1802	     53	   1502	    434	     72	      0	      2	      0	   2151	      9	      0	   9969
52	    586	   3362	    845	    187	    248	     68	   1044	    491	    128	    783	      0	     24	   1318	      0	   9084
60	    445	  10786	   4479	   4368	   9535	   7169	  22259	    181	     92	   4736	      0	   1056	   7485	      8	  72600
61	    293	   1168	    693	     24	   1277	   1120	   8346	    178	      0	    132	      0	     81	    468	      8	  13786
62	    153	   9619	   3786	   4345	   8258	   6049	  13913	      3	     92	   4604	      0	    975	   7018	      0	  58814
70	   2533	   2640	  11609	    230	    558	   2652	   2585	     52	     22	    206	      0	    109	    199	    128	  23522
71	     31	   2582	  11017	    221	    555	   2586	   2413	     52	     22	    178	      0	    106	    195	    128	  20084
72	   2501	     58	    591	      9	      3	     67	    173	      0	      0	     28	      0	      3	      4	      0	   3437
80	   1449	   6111	   2517	   2169	    536	   6565	      9	    659	    280	    287	      0	     73	   6034	      0	  26688
81	     27	    357	    460	      2	      7	    101	      9	     49	      0	     16	      0	     16	     20	      0	   1064
82	   1421	   5754	   2056	   2167	    529	   6464	      0	    610	    280	    271	      0	     57	   6014	      0	  25624
90	   3854	   2743	   6601	   2237	   1345	  25492	  15279	   4472	    716	  12441	      0	   1116	    608	      0	  76902
91	   3854	   2743	   6601	   2237	   1345	  25492	  15279	   4472	    716	  12441	      0	   1116	    608	      0	  76902
 1	    425	  14547	   3146	   1197	  13488	  17911	   8470	    202	   1584	   5736	   6791	   1406	    938	   4768	  80609
 2	      0	  15740	   6904	   4671	      0	  31312	  12282	   1024	      0	  20406	   3012	      0	   3499	      0	  98850
 0	  13114	  76349	  44182	  20141	  38295	 113290	  71579	  10638	   3001	  45265	   9803	   7863	  21981	   4913	 480413
	  1	 16	507	 12	 37	 35	 49	504	 33	 27	 14	734	999
10	  20831	  36176	   3417	  19896	  15266	  19785	   2488	    399	      0	   4726	    800	      0	 123783
11	  14490	   7219	   3213	  13577	  13521	  17981	      5	    399	      0	    861	    532	      0	  71797
12	   3572	    400	      4	    332	      0	      0	      0	      0	      0	      2	     15	      0	   4324
13	   1342	    536	    110	   4990	    241	    746	    154	      0	      0	    238	    126	      0	   8482
14	   1427	  28022	     90	    998	   1504	   1059	   2329	      0	      0	   3626	    126	      0	  39180
20	     87	    205	      1	      3	      0	      0	      0	      0	      0	      3	      0	      0	    300
21	     31	    205	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      3	      0	      0	    240
22	     56	      0	      1	      3	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	     60
30	   6311	   5161	    922	    533	   9313	   2447	   1287	    101	      0	   1439	    257	      0	  27770
31	   3305	   2717	    304	    277	   8247	      0	   1268	     43	      0	    159	    126	      0	  16446
32	    115	    908	     25	     17	      0	   1999	      0	      0	      0	    122	      1	      0	   3188
33	   1453	    845	    298	     77	    434	    185	      0	      0	      0	    179	      7	      0	   3478
34	    215	     47	     43	     20	      4	      0	      0	      0	      0	     30	      0	      0	    360
35	    113	    177	      6	      0	    253	    114	     14	      2	      0	    864	     24	      0	   1569
36	   1034	    456	     18	    102	      0	    149	      6	     22	      0	     84	     99	      0	   1970
39	     75	     11	    227	     39	    374	      0	      0	     34	      0	      0	      0	      0	    761
40	    500	     33	     16	      6	    323	      0	      0	      0	      0	     11	     34	      0	    922
41	    500	     33	     16	      6	    323	      0	      0	      0	      0	     11	     34	      0	    922
50	   1650	   1240	   6682	    497	   5587	   4451	    647	    437	      0	   1139	    417	      0	  22747
51	    456	    500	   6163	    131	   4932	    692	    543	      0	      0	     99	     55	      0	  13570
52	   1194	    740	    519	    367	    655	   3759	    104	    437	      0	   1039	    362	      0	   9177
60	  16147	  11375	   3548	  12538	  16482	   7480	    260	   2316	      0	   1755	   4915	      0	  76817
61	   1237	   3413	    769	   2148	  10984	    938	    249	    790	      0	    160	    665	      0	  21352
62	  14910	   7962	   2779	  10390	   5498	   6542	     11	   1527	      0	   1595	   4251	      0	  55465
70	   5656	   2308	   4229	   4824	   2597	   1067	   1843	    589	      0	   5893	    388	    297	  29691
71	   5594	   2209	   4219	   3720	   2575	   1052	   1843	    588	      0	    815	    383	    297	  23294
72	     62	     99	     10	   1104	     23	     15	      0	      1	      0	   5078	      5	      0	   6397
80	   7835	   4989	   3249	    993	   5531	   1878	    289	   1454	      0	    669	   8693	      0	  35580
81	   2568	   1253	      3	     19	     39	    109	     11	      6	      0	    425	    503	      0	   4936
82	   5266	   3736	   3247	    974	   5493	   1768	    278	   1448	      0	    245	   8190	      0	  30644
90	   3971	  10969	   1941	   6979	  44157	  25230	   1655	  13292	      0	   3355	    416	      0	 111966
91	   3971	  10969	   1941	   6979	  44157	  25230	   1655	  13292	      0	   3355	    416	      0	 111966
 1	  23504	  10079	   1379	  23401	  18975	  14521	    101	   8395	  11546	   2378	   2317	   7750	 124346
 2	  22438	  14480	  15347	      0	  20463	  23726	    404	  17086	   1141	      0	   7474	      0	 122559
 0	 108928	  97015	  40731	  69672	 138693	 100586	   8974	  44070	  12688	  21369	  25709	   8046	 676483
	  1	 16	 12	 37	 35	504	 33	734	999
10	   2625	   1627	   1365	    266	     21	      0	      0	      0	   5904
11	   2016	    909	   1038	    192	     21	      0	      0	      0	   4176
12	      2	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      2
13	     91	     11	    243	     56	      0	      0	      0	      0	    401
14	    517	    707	     84	     18	      0	      0	      0	      0	   1326
20	     27	    250	      0	      0	     11	      0	      0	      0	    287
21	      0	    250	      0	      0	     11	      0	      0	      0	    261
22	     27	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	     27
30	    843	    205	    120	   1746	      0	      0	      0	      0	   2914
31	    150	     19	      5	      0	      0	      0	      0	      0	    174
32	      0	     43	      5	      0	      0	      0	      0	      0	     48
33	    516	    103	     67	   1746	      0	      0	      0	      0	   2431
34	      3	      4	     39	      0	      0	      0	      0	      0	     45
35	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0
36	    174	     38	      2	      0	      0	      0	      0	      0	    214
39	      0	      0	      3	      0	      0	      0	      0	      0	      3
40	     39	      0	     12	      0	      0	      0	      0	      0	     51
41	     39	      0	     12	      0	      0	      0	      0	      0	     51
50	    451	    439	     49	    188	    170	      0	      0	      0	   1297
51	     34	     76	     19	      9	      0	      0	      0	      0	    138
52	    417	    363	     30	    179	    170	      0	      0	      0	   1159
60	   3705	   2350	   1763	   1101	    107	     23	      0	      0	   9049
61	    433	    253	    154	    121	      0	      0	      0	      0	    961
62	   3272	   2097	   1609	    980	    107	     23	      0	      0	   8088
70	    527	   1394	    296	    237	      0	      0	      0	     22	   2475
71	    490	   1393	    294	    220	      0	      0	      0	     22	   2418
72	     38	      1	      2	     17	      0	      0	      0	      0	     58
80	    372	   2135	    138	    809	      0	      1	      0	      0	   3455
81	      5	     87	      1	      0	      0	      0	      0	      0	     94
82	    367	   2048	    137	    808	      0	      1	      0	      0	   3361
90	    101	   5003	    735	   1687	   2306	   1156	      0	      0	  10988
91	    101	   5003	    735	   1687	   2306	   1156	      0	      0	  10988
 1	   1975	   3206	   4207	   2690	    968	   1013	   2110	   1288	  17456
 2	   3014	   3908	      0	   1791	   1552	   1063	      0	      0	  11328
 0	  13679	  20518	   8685	  10514	   5134	   3256	   2110	   1309	  65205
	  1	 16	507	 12	 37	 35	 33	 27	734	999
10	   6415	    682	    241	   2812	   1083	  15083	   2119	    201	      0	  28636
11	   5311	    507	    147	   2026	    136	  14731	   2119	     94	      0	  25072
12	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      9	      0	      9
13	    409	     57	     92	    710	      6	    308	      0	      0	      0	   1582
14	    696	    118	      2	     76	    941	     43	      0	     98	      0	   1973
20	     35	     60	      0	      0	      0	      0	      0	      2	      0	     96
21	      1	     58	      0	      0	      0	      0	      0	      2	      0	     61
22	     34	      2	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	     36
30	   2375	   1036	     33	    132	    225	   1160	      0	     19	      0	   4980
31	    974	    943	     24	     15	     13	    259	      0	      0	      0	   2230
32	     49	     11	      4	     23	      0	      0	      0	      0	      0	     87
33	    740	     42	      3	     31	     12	      0	      0	     13	      0	    841
34	    153	     23	      1	     17	     33	      0	      0	      0	      0	    226
35	    114	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	      0	    115
36	    279	     16	      1	     19	      0	    900	      0	      6	      0	   1222
39	     66	      0	      1	     27	    167	      0	      0	      0	      0	    261
40	      0	      1	      1	      6	   1694	      0	      0	     11	      0	   1713
41	      0	      1	      1	      6	   1694	      0	      0	     11	      0	   1713
50	   6436	     33	     80	     50	     47	      9	     12	    239	      0	   6906
51	    572	      0	      1	      0	     47	      0	     12	     15	      0	    647
52	   5864	     33	     79	     50	      0	      9	      0	    224	      0	   6259
60	  12768	   6174	    525	   1372	   5812	   3262	      2	    938	      0	  30853
61	   3939	   3431	    222	     74	   1000	     11	      0	    202	      0	   8879
62	   8830	   2743	    303	   1298	   4812	   3251	      2	    736	      0	  21974
70	   2942	    454	    194	    533	    736	    979	      0	     83	     51	   5972
71	   2091	    454	    193	    531	    734	    979	      0	     66	     51	   5100
72	    852	      0	      0	      2	      2	      0	      0	     16	      0	    872
80	   3415	   1291	    630	    151	   2496	    615	     17	    779	      0	   9395
81	    566	    438	      0	      2	      7	      0	      0	    204	      0	   1217
82	   2849	    853	    630	    149	   2489	    615	     17	    575	      0	   8178
90	   4103	   5781	    492	    684	   8592	   5304	    646	    441	      0	  26044
91	   4103	   5781	    492	    684	   8592	   5304	    646	    441	      0	  26044
 1	  10951	   5531	    358	   3942	   6691	   6990	   5465	    752	   3667	  44346
 2	   9045	   4594	    959	      0	   5792	   8082	    793	      0	      0	  29265
 0	  58487	  25637	   3512	   9683	  33168	  41483	   9054	   3465	   3718	 188206
	 46	 28	  1	 16	 43	507	 12	 17	 51	  9	 53	 37	 35	 49	 40	 39	504	 33	 27	 52	 11	 31	 41	 14	 45	734	999
10	  10081	  54471	 316116	  73876	    514	  39849	  69014	   7662	      0	   1111	      0	  29969	  70760	  47814	   6489	   4954	  10369	  34434	  96997	      0	  43215	   5020	      0	  26468	   1620	      0	 950802
11	   4829	  34853	 106588	  19494	    261	  21649	  22006	    291	      0	   1089	      0	  13646	  18662	  12116	    485	   1475	   9655	   9008	  25248	      0	   9449	    666	      0	   6343	      0	      0	 317813
12	    155	   7075	 102907	  11856	     79	  10428	  25699	   1537	      0	      0	      0	   5894	  50965	   4769	    485	   3399	    203	      1	  15625	      0	   7288	      0	      0	   4068	      0	      0	 252434
13	      0	   6223	  15223	   1940	      0	   1709	  14845	    583	      0	      0	      0	   3408	    372	   6121	   1939	     80	     85	   9797	   5007	      0	   7237	      7	      0	    240	    919	      0	  75734
14	   5096	   6320	  91398	  40585	    175	   6063	   6463	   5251	      0	     22	      0	   7021	    762	  24808	   3580	      0	    426	  15628	  51117	      0	  19241	   4347	      0	  15817	    700	      0	 304821
20	   5606	   4076	 151288	  26630	   1101	  10191	   3274	   3211	      0	   1135	      0	  11117	  89668	   2485	   1057	    196	    266	    714	  29976	      0	   3089	   2098	      0	  32208	      0	      0	 379383
21	   5606	   4068	 123750	  26571	   1101	  10173	   3274	   3211	      0	    274	      0	   6963	  57134	   2485	   1057	     32	    258	    709	  29971	      0	   3089	   2098	      0	  32035	      0	      0	 313857
22	      0	      7	  27538	     59	      0	     18	      0	      0	      0	    861	      0	   4154	  32533	      0	      0	    164	      8	      5	      4	      0	      0	      0	      0	    173	      0	      0	  65526
30	  69543	 109359	 454803	 256874	   2632	  50464	 111509	  15440	      0	  17958	      0	 136687	 761050	  97545	  23346	  72754	   8014	 157556	 152725	      0	  68049	   6908	      0	  44135	   4469	      0	2621820
31	  35595	  29496	 142226	 103275	     84	  16846	  38578	   2049	      0	   2070	      0	  39003	  19821	  26051	  11864	  17168	    922	  16908	  35508	      0	  29954	    460	      0	  13199	      0	      0	 581078
32	   6405	  12324	  54036	  23788	    244	   6213	   6611	      0	      0	   5895	      0	   4624	 368894	   8787	    394	   3985	    842	  11083	  34288	      0	   2574	   2585	      0	   5580	      0	      0	 559154
33	    388	   3136	  31088	  16697	     39	   6101	  14631	     43	      0	   2220	      0	   2616	   2701	  13006	    621	   1172	    168	    169	   6212	      0	   4412	      0	      0	   3807	      0	      0	 109227
34	  10534	  11089	  16908	   9907	    652	   1829	   2108	    235	      0	   1859	      0	  27527	  29369	   3128	    130	   8256	    423	   3263	   3229	      0	   2436	     86	      0	   8633	      0	      0	 141599
35	   2420	  11471	  52585	  35063	    939	   1241	   6756	   2123	      0	   1717	      0	  10685	 321087	  17537	   3259	  21840	   2281	  17639	  54624	      0	  12659	   1250	      0	   3300	   1741	      0	 582218
36	   6240	  20014	 134506	  64083	    655	  10297	  10525	   1935	      0	   2460	      0	    167	  14290	  27319	   6778	  15097	   2616	  51681	  10389	      0	  15530	   2526	      0	   9331	   1764	      0	 408203
39	   7961	  21828	  23454	   4060	     19	   7936	  32299	   9056	      0	   1737	      0	  52065	   4890	   1718	    299	   5236	    762	  56813	   8474	      0	    483	      0	      0	    285	    964	      0	 240341
40	      0	  14149	  71219	  13089	      0	   8956	  10129	      0	      0	     27	      0	  28550	   4720	  14150	    733	   5282	    136	   6649	  11701	      0	    584	   1137	      0	   9281	      0	      0	 200494
41	      0	  14149	  71219	  13089	      0	   8956	  10129	      0	      0	     27	      0	  28550	   4720	  14150	    733	   5282	    136	   6649	  11701	      0	    584	   1137	      0	   9281	      0	      0	 200494
50	   1407	  55494	 358257	 139896	     82	 147293	 198285	      0	      0	   4779	      0	   7053	 118418	  61829	   2767	   6440	  23551	  10971	  63870	      0	  19044	   1131	      0	  14932	      0	      0	1235497
51	    626	  21612	 142139	  58203	     58	 122565	  51366	      0	      0	   3586	      0	   4124	  89596	  25768	   2525	   4389	  20456	    124	  25430	      0	   1976	    633	      0	   1119	      0	      0	 576295
52	    781	  33882	 216118	  81693	     23	  24728	 146919	      0	      0	   1193	      0	   2928	  28821	  36061	    242	   2051	   3096	  10848	  38440	      0	  17068	    498	      0	  13813	      0	      0	 659202
60	  24138	  55845	 484794	 312402	   2269	  76699	 492044	  10384	      0	  27205	      0	 133532	 547157	  66118	  21059	  49599	 322712	  64832	 183162	      0	  21115	  17276	      0	 488555	   2184	      0	3403079
61	   9617	  39224	 247632	 147680	   2163	  23492	 418366	  10359	      0	  20725	      0	  69846	  36192	  46639	  15706	  41754	 316945	  55395	 107885	      0	  13232	  13186	      0	  20598	   1289	      0	1657925
62	  14520	  16621	 237161	 164722	    105	  53206	  73678	     26	      0	   6481	      0	  63685	 510965	  19478	   5353	   7845	   5767	   9437	  75277	      0	   7884	   4090	      0	 467957	    895	      0	1745154
70	   8718	  14437	  99381	  73358	     92	  34577	   2044	   2869	      0	   2186	      0	  10014	 127459	  30024	   2578	  15535	   7532	  30746	  44592	      0	   5574	   1489	      0	   7215	    194	   1243	 521856
71	   7312	   6670	  59638	  37395	     92	  29770	   2007	   2565	      0	   1281	      0	   9652	 122441	  19615	    651	   1975	   6237	   9377	  30988	      0	   2269	     92	      0	   4108	      0	   1243	 355377
72	   1406	   7767	  39743	  35963	      0	   4807	     37	    304	      0	    904	      0	    362	   5018	  10408	   1927	  13560	   1295	  21370	  13604	      0	   3304	   1397	      0	   3107	    194	      0	 166479
80	  40482	 115265	 882503	 484943	   6091	  96330	 576809	  14048	      0	  36905	      0	 258684	 661034	 188586	  20205	  63833	 169397	 118943	 186281	  22505	  33076	  27984	  25158	 120862	   7611	   3001	4160537
81	  26114	  40950	 489825	 341648	   5711	  29252	 513852	  13869	      0	  10874	      0	 177552	 622244	  87672	  12161	   4016	   6436	  76481	 133385	  22505	  25039	  18460	  25158	  30415	   6987	   3001	2723607
82	  14368	  74315	 392678	 143295	    380	  67078	  62957	    179	      0	  26031	      0	  81132	  38790	 100914	   8045	  59818	 162962	  42461	  52896	      0	   8037	   9524	      0	  90447	    624	      0	1436930
90	   2145	 175728	 266651	 201751	      0	 111832	 126869	     24	      0	    843	      0	 787904	 557975	 112250	   4498	 200653	 454655	  66097	 218152	      0	   5272	   2051	      0	  10282	      0	      9	3305641
91	   2145	 175728	 266651	 201751	      0	 111832	 126869	     24	      0	    843	      0	 787904	 557975	 112250	   4498	 200653	 454655	  66097	 218152	      0	   5272	   2051	      0	  10282	      0	      9	3305641
 1	     42	   7141	 539744	  92615	     87	  29674	  82258	      9	  65108	    439	    103	 361909	 176424	   3824	     64	  53501	 102512	 176731	 138394	      0	    186	     65	      0	  37447	      7	  52694	1920977
 2	     77	  32320	 615819	 251471	      0	 119681	1632063	      0	   7986	   7977	      0	 439400	 440730	  11724	      0	 116075	 256894	 143400	  59784	      0	    612	      0	      0	  76502	      0	      0	4212515
 0	 162237	 638285	4240574	1926904	  12869	 725547	3304298	  53647	  73094	 100566	    103	2204818	3555395	 636348	  82796	 588823	1356039	 811073	1185632	  22505	 199815	  65158	  25158	 867887	  16084	  56947	*******
